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蘇州電子特氣提純復疊制冷機組-江蘇康士捷機械設備有限公司設計生產，型號齊全。
蘇州電子特氣提純復疊制冷機組用于
氣體類型 | 用途 | 提純溫度范圍 |
高純硅烷（SiH?） | CVD沉積、外延生長 | -80℃～-120℃ |
六氟化鎢（WF?） | 金屬鎢沉積 | -30℃～-50℃ |
三氟化氮（NF?） | 等離子體清洗 | -60℃～-80℃ |
氯化物（HCl） | 刻蝕、外延 | -85℃～-100℃ |
八氟環丁烷（C?F?） | 介電材料刻蝕 | -40℃～-60℃ |
蘇州電子特氣提純復疊制冷機組有高溫型（5℃～35℃）、中溫型（-5℃～-40℃）、低溫型（-40℃～-80℃）、極低溫型（-150℃～-80℃）、冷熱兩用型（-150℃～+300℃）等系列產品供貴司選用。制冷量大小都有，有防爆型，防腐型，撬裝式，變頻型等。接受非標定做。溫度穩定性±0.1℃等可選。
蘇州電子特氣提純復疊制冷機組多案例供參考。
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